大连华邦化学有限公司大连华邦化学有限公司成立于2013年,注册地位于大连市高新技术产业园区,注册资本3000万元,由中国科学院大连化学物理研究所多位气体纯化技术专家联合创办,是一家专注于超纯气体纯化设备研发与制造的国家高新技术企业,入选国家级专精特新"小巨人"企业,主要服务于半导体、光伏、LED等高端电子产业对超高纯度工艺气体的需求。
公司产品体系覆盖氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、二氧化碳、XCDA、氨气、氪气和氖气等10种气体,形成80余个规格的超纯气体纯化器产品矩阵,另设有加氢催化剂、物料精制剂及NOx净化装置等配套产品线。核心设备采用吸附技术、催化技术与Getter吸气技术三种纯化路线,最高产气纯度达99.9999999%(9N级),产品纯度超越国家最高气体标准三个数量级。超纯气体纯化器是12英寸半导体晶圆制造前道工艺的关键配套设备,下游应用覆盖半导体芯片制造、光伏电池生产、LED外延生长、IGBT功率器件及TFT显示面板制造等高端电子产业链。公司自主开发的现场供气管理系统可为晶圆厂提供气体纯化设备的远程监控与全周期维保服务,具备从工艺气体纯化设备供货到现场超纯气体管理的一体化解决方案能力,产品及服务通过下游半导体客户进入全球集成电路制造供应链。
公司持有国家知识产权管理体系认证,是国家标准《气体分析 痕量分析用气体纯化技术导则》的主要起草单位之一,授权专利涵盖超纯气体催化剂配方、Getter吸气材料及纯化装置工艺包等技术方向,荣获2019年第八届中国创新创业大赛先进制造成长组全国优秀奖,被认定为辽宁省瞪羚企业,并入选国家级专精特新"小巨人"企业名录。
产品已获英特尔(大连工厂)、SK海力士、京东方、中芯国际、合肥长鑫等120余家国内外半导体及显示面板企业的认可与量产应用,覆盖大连、无锡、广东、上海、青岛、武汉等多地12英寸晶圆产线及数十条6至8英寸、TFT、LED和IGBT产线,是国内超纯气体纯化设备细分市场的重要供应商。